MEMS划片技术的现状与技术革新

MEMS划片技术的现状与技术革新随着微电子技术的不断发展，MEMS技术也越来越受到关注。MEMS是微型机电系统的简称，它将微电子技术和机械加工技术相结合，实现微型器件的制造，被广泛应用于传感器、执行器