晶圆制备工艺用清洗洁净及环保新技术

晶圆制备工艺用清洗洁净及环保新技术1 引言 随着特大规模集成电路（ULSI）的研发与生产，硅片（或称晶圆、圆片、晶片）的线宽不断减小，而晶圆直径却在不断增大。现阶段国内外 ULSI制备中仍以200