微机械MEMS陀螺仪原理和几大公司的基本工艺流程

微机械 MEMS 陀螺仪原理：目前，MEMS 陀螺仪主要以振动式为主，振动式陀螺仪主要由支撑框架、谐振质量块，以及激励和检测单元几个部分构成。驱动与检测方式以静电驱动、电容检测最为常见。检测原理是利用