半导体工艺整理资料

第一章 微电子工艺引论硅片、芯片的概念硅片：制造电子器件的根本半导体材料硅的圆形单晶薄片芯片：由硅片生产的半导体产品*什么是微电子工业技术？微电子工业技术主要包括哪些技术？微电子工艺技术：在半导体材料