基于光束法平差的相位测量偏折术镜面面形测量

基于光束法平差的相位测量偏折术镜面面形测量I. 前言镜面的形状直接关系到其光学性能，在镜子和光学制品制造过程中，对于镜面的形状测量是至关重要的一步。其中，相位测量偏折术可以用于高精度非接触式镜面形状测