集成电路工艺基础教学总结

集成电路工艺基础教学总结一、课程基本情况课程类别：专业课性质：必修课教学目标：教学目标1:培养科学观察和思维的能力，了解并掌握 集成电路制造关键工艺的基本原理、方法、用途；熟悉主要 工艺设备及检测仪器