声表面波传感器的研究进展

声表面波传感器的研究进展何世堂，王文，李红浪(中国科学院声学研究所，北京 100080)1 前言1885 年, 瑞利(Lord Rayleigh)[1]首先在半无限各向同性固体中发现声表面波(SAW: