微波法大功率稳定快速沉积CVD金刚石膜

微波法大功率稳定快速沉积CVD金刚石膜黄建良 SKIPIF 1 < 0 ，汪建华 SKIPIF 1 < 0 (1．武汉工程大学，等离子体化学与新材料省重点实验室，湖北 武汉，430