涂布装置及利用该涂布装置形成涂布层的方法
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号 CN 102452798 B(45)授权公告日 2014.12.10(21)申请号 201010625086.9(22)申请日
涂布装置及利用该涂布装置形成涂布层的方法