QR-EM-37 PVD(设备人员)日常点检表(01)

P V D （设备人员）日常点检表 动作或部位名称检查点标准方法及工具频度点检时机异常处置溅射系统靶水路不漏水目视观察，不正常的更换水路配件或重新装配。1次/班生产中靶电源功率设定10KW以上:功率