超因瓦合金谐振腔体的制造技术

超因瓦合金谐振腔体的制造技术超因瓦合金谐振腔体的制造技术摘要：超因瓦合金谐振腔体是一种重要的微纳加工技术，在无线通信、光学器件和量子计算等领域具有广泛的应用。本论文综述了超因瓦合金谐振腔体的制造技术，