化学气相沉积HfC陶瓷涂层的制备和结构

化学气相沉积HfC陶瓷涂层的制备和结构摘要：本文介绍了化学气相沉积HfC陶瓷涂层的制备和结构分析。首先对HfC的物理和化学性质进行了简单介绍，并阐述了HfC陶瓷涂层的应用前景。接着介绍了化学气相沉积技