面向能耗低、恢复快的微纳结构传感器的制备与特性研究的任务书

面向能耗低、恢复快的微纳结构传感器的制备与特性研究的任务书一、研究背景随着科技的不断发展，微纳制造技术的不断成熟，微纳结构传感器的应用日渐广泛。微纳结构传感器的优点在于其小体积、高灵敏度、高分辨率、高