化学气相沉积制备碳化硅过程的数值模拟的开题报告

化学气相沉积制备碳化硅过程的数值模拟的开题报告一、选题背景碳化硅是一种优良的功能材料，在高温、高压、高频和强辐射环境下具有良好的性能表现，广泛应用于先进的航空、航天、光电和半导体等领域。而化学气相沉积