深紫外光学薄膜的光谱性能优化

深紫外光学薄膜的光谱性能优化摘要：深紫外光学薄膜由于其在高能紫外光（190-300 nm）和硬紫外光（100-190 nm）的透明性，已经在许多行业中发挥了重要作用。在制造深紫外光学薄膜时，要优化其光