MOEMS器件技术

MOEMS 器件技术与封装1 引言微光电子机械系统 (MOEMS) 是一种新兴技术，日前已成为全球最热门的技术之一。MOEMS 是利用光子系统的微电子机械系统 (MEMS) ，内含微机械光调制器、微机