硅微结构材料的制备和应用

硅微结构材料的制备及应用【摘要】：近年,微结构材料特别是硅基半导体微结构材料的制备及其在能源、传感器等方面的应用已经成为物理、化学、材料、生物、电子等诸多学科领域学者所共同__的焦点。微结构材料及其器