集成抗ESD二极管的SOILIGBTLDMOS

集成抗ESD二极管的SOI LIGBT/LDMOS器件结构及其制作方法初探汪沁1，张海鹏2，孙玲玲3，高明煜2，李文钧3，吕幼华2，刘国华2，汪洁2（1.浙江万里学院计算机科学与信息学院，宁波，中国，