CVD法制备SiC一维纳米材料影响因素的数值模拟研究

CVD法制备SiC一维纳米材料影响因素的数值模拟研究随着纳米科技的迅速发展，一维纳米材料作为一种新兴材料，具有独特的物理、化学和电学性质，引起了广泛的研究和开发。在此背景下，CVD（Chemical