金属互连焊球的电迁移试验设计研究与灵敏度分析

金属互连焊球的电迁移试验设计研究与灵敏度分析摘要：本文旨在研究金属互连焊球的电迁移试验设计及其灵敏度分析。针对电迁移现象的研究，设计了一种具有高可重复性和低内部变异性的电迁移试验方案。通过电子显微镜与