MEMS密闭腔内微气流的挤压膜阻尼效应研究

MEMS密闭腔内微气流的挤压膜阻尼效应研究随着微电子技术的不断发展, MEMS技术已经成为微纳制造领域的重要分支。其中，MEMS密闭腔内微气流的挤压膜阻尼效应研究引起了广泛关注。在小尺寸的微结构中，表