AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用

AZO薄膜刻蚀形貌优化及其在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用摘要：本文研究了AZO薄膜刻蚀形貌的优化，并探讨了在硅基薄膜双结太阳能电池中的应用。在优化AZO薄膜刻蚀形貌的过程中，采用了不同的工艺参数，通