真空镀膜第二讲共六讲ppt课件

- 一.凡是真空镀膜设备 都由以下配置组成 - 真空系统----机械泵（罗茨泵）+油扩散泵 无油泵组（分子泵 冷凝泵 钛扩散吸附泵）+管道阀门冷阱+真空室+冷却系统+真空