半导体生产中常用的薄膜习题

《集成电路制造工艺》习题库03半导体生产中常用的薄膜一、填空题1、在半导体生产中常用的薄膜可以分为、、三大类。2、集成电路金属互连工艺中AICu合金常用作解决铝互连中的 问题。3、集成电路传统的铝互连