具有菱形截面的微梁谐振器件的热弹性阻尼机理与模型的开题报告

具有菱形截面的微梁谐振器件的热弹性阻尼机理与模型的开题报告【开题报告】题目：具有菱形截面的微梁谐振器件的热弹性阻尼机理与模型一、研究背景微机电系统（MEMS）技术是近年来发展较快的一项技术，它广泛应用