单层二氧化铪(hfo2)薄膜的特性研究

万方数据第39卷第2期 20】2年2月 0pto-ElectrDnic E力gineering (1．中国科学院光电技术研究所，成都610209；， 2．中国科学院研究生院，北京100049) 电子束