离子束辅助沉积纳米氮化物超硬薄膜的微结构与力学性能的研究的任务书

离子束辅助沉积纳米氮化物超硬薄膜的微结构与力学性能的研究的任务书任务书一、题目离子束辅助沉积纳米氮化物超硬薄膜的微结构与力学性能的研究二、研究背景及意义纳米技术的发展，对材料的研究提出了新的挑战，尤其