离子注入和离子交换平面和条形光波导的制备及特性的研究

山东大学博士学位论文 中文摘要 光波导作为集成光学的基本单元，以其独特的性能、高集成化以及规模生 产的低成本，在各种光器件的制造中起着重要的作用。光波导可以把光限制在较 小的区域传播以提高光密度，从而