强电场下介电薄膜电学和力学性质的扫描探针显微技术研究的开题报告

强电场下介电薄膜电学和力学性质的扫描探针显微技术研究的开题报告一、研究背景介电薄膜广泛应用于电子器件中的电场效应晶体管、电容器、电感器等，逐渐成为微电子和光电子技术的研究热点，被广泛关注和研究。在电子