等离子体增强原子层沉积技术研究的任务书

等离子体增强原子层沉积技术研究的任务书一、课题背景近年来，人类对于纳米材料的需求不断增长，其中纳米薄膜被广泛应用于电子、能源、光电和生物医学等领域。原子层沉积（ALD）技术作为一种卓越的纳米薄膜制备技