硅片线切割设备现状与发展综述

硅片线切割设备现状与发展综述 关键词：硅片 线切割 钢线 1、引言 硅片多线切割技术是目前世界上先进的硅片切割加工方法之一，它是与传统的切割方式，如刀锯、砂轮片等不同的，也与先进比较