钛靶受控阴极电弧的放电特性与大颗粒缺陷研究的任务书

钛靶受控阴极电弧的放电特性与大颗粒缺陷研究的任务书一、课题背景钛靶受控阴极电弧镀膜技术是一种高效、环保的表面处理技术，在电子、航空、航天、汽车等领域得到了广泛应用。然而，钛靶受控阴极电弧镀膜过程中常常