磁控溅射镀膜机PLC控制系统1

磁控溅射镀膜机的PLC控制系统1磁控溅射镀膜机的PLC控制系统设计 磁控溅射镀膜技术已经被广泛应用在了薄膜制备领域，磁控溅射镀膜设备摘 要:在控制系统设计上对稳定运行有相当大的需求。本文介绍了真空磁控