用于离子迁移率谱仪的MEMS表面离化源研究的中期报告

用于离子迁移率谱仪的MEMS表面离化源研究的中期报告1. 研究背景离子迁移率谱仪（Ion Mobility Spectrometry，IMS）是一种快速、高灵敏度、选择性好的气体检测仪器，广泛应用于安