微电子机械系统运动方案设计

微电子机械系统运动方案设计 　　1.1微电子机械系统的概念 　　微电子机械系统主要构造有微型传感器、制动器以及处理电路。其是一种微电子电路与微机械制动器结合的尺寸微型的装置，其在电路信息的指示下可以进