MEMS热电堆自动固晶系统关键技术研究的开题报告

MEMS热电堆自动固晶系统关键技术研究的开题报告一、研究背景MEMS热电堆是微型热电发电系统中的关键组件之一，具有极高的可靠性、高效率和迷你化的优势，目前其在医疗、航空航天、物联网等领域有广泛的应用前