半导体工厂(FAB)大宗气体系统的设计(精)

半导体工厂(FＡＢ)大宗气体系统(Gaｓ Ｙａrd）的设计１９９５年,美国半导体工业协会（ＳIA)在一份报告中预言:"中国将在10-１5年内成为世界最大的半导体市场"。随着中国经济的增长和信息产业的发