Ce掺杂ATO透明薄膜的制备及其性能研究

Ce掺杂ATO透明薄膜的制备及其性能研究摘要：本文研究了Ce掺杂的氧化铟锡（ATO）透明薄膜的制备方法、结构特征和光电性能。使用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了Ce掺杂的ATO透明薄膜。研究发现，C