化学气相沉积制备MgO基薄膜及其次级电子发射性能的任务书

化学气相沉积制备MgO基薄膜及其次级电子发射性能的任务书任务书一、任务背景随着微电子技术的不断发展，在各种电子器件中，需要使用到许多不同种类的薄膜材料。MgO薄膜作为一种重要的薄膜材料已经在半导体、太