我国电子级多晶硅发展情况分析

I NDUSTRY产业我国电子级多晶硅发展情况分析■文 / 江华（赛迪智库集成电路研究所）电子级多晶硅是制造半导体 单晶硅中氧、碳含量低，载流子硅片最基础和最主要的原材料之 浓度低，电阻率高，主要应用