天鹅绒阴极脉冲放气及重复频率运行真空特性

第２２卷第３期２０１０年３月强 激光 与粒子束ＨＩＧＨＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳＶｏ１ ．２２。Ｎｏ．３Ｍａｒ．，２０１０文章编号：１００１— ４３２２（ ２０１０）０３—