纳米Ta基阻挡层的制备及性能研究的综述报告

纳米Ta基阻挡层的制备及性能研究的综述报告纳米Ta基阻挡层的制备及性能研究的综述报告随着集成电路技术的不断发展，尺寸越来越小的器件引起了对电子束或极紫外光刻技术的需求，同时也对材料和工艺的要求越来越高