压阻式传感器的原理及特点

应变压阻式加速度传感器的敏感芯体为半导体材料制成电阻测量电桥，其结构动态模型仍然是弹簧质量系统。现代微加工制造技术的发展使压阻形式敏感 芯体的设计具有很大的灵活性以适合各种不同的测量要求。在灵敏度和量