为VLSI器件用热生长氮化物作栅的场效应管工艺

为VLSI器件用热生长氮化物作栅的场效应管工艺VLSI（Very Large Scale Integration）器件是当今科技领域中受到广泛关注的一种半导体器件。在VLSI器件中，场效应管是最常见的