磁流变抛光技术在SiC晶片加工工艺中的应用研究

磁流变抛光技术在SiC晶片加工工艺中的应用研究　　摘要：碳化硅作为新兴的一种第三代半导体材料，现已在电力电子行业得到非常广泛的应用。碳化硅应用技术的发展趋势必然会对晶片表面状况有着越来越高的要求，而这