基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究

基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究摘要：随着科技的飞速发展，MEMS（微电子机械系统）技术在各个领域得到了广泛应用，其