MgZnO合金薄膜带隙调制及其紫外探测器件

MgZnO合金薄膜带隙调制及其紫外探测器件摘要：本文研究了在MgZnO合金薄膜上的带隙调制，以及其在紫外探测器件中的应用。利用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了不同Zn含量的MgZnO合金薄膜，并通过X