集成电路离子注入机发展现状与趋势

产业发展中国集成电路China lntegrated CircultCIC集成电路离子注入机发展现状与趋势李士会， 张喻召张丛， 曾安生，北京烁科中科信电子装备有限公司摘要： 离子注入机是集成电路制造