MEMS壁面剪切应力传感器研究进展

MEMS壁面剪切应力传感器研究进展随着微纳技术的发展和应用的扩展，MEMS（微电子机械系统）壁面剪切应力传感器在空气动力学、流体力学、生命科学和材料科学等领域中得到了广泛的应用，成为了现代科学研究中不