超厚类金刚石碳基薄膜多层界面特征及其摩擦学特性

超厚类金刚石碳基薄膜多层界面特征及其摩擦学特性摘要本文研究了超厚类金刚石碳基薄膜多层界面特征及其摩擦学特性。结果表明，该薄膜具有较高的硬度和热稳定性，同时其表面和界面结构的改变与摩擦学性能密切相关。本